3D測量激光顯微鏡OLS5000,快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
●亞微米3D觀察、測量。觀察納米范圍的臺(tái)階，并可測量亞微米級別的高度差。
●ISO25178-合規(guī)表面粗糙度測量。可測測量從線到面的表面粗糙度。
●非接觸，無損，并且快捷。無需制備樣品，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可測量。
OLS5000激光掃描顯微鏡的基本原理
●3D測量激光顯微鏡OLS5000配置了兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和濟(jì)鋼共焦光學(xué)系統(tǒng)，如下圖）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
a、獲取彩色信息是指彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
b、獲取3D高度信息和高分辨率共焦圖像。即激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。
●405納米激光光源
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。3D測量激光顯微鏡OLS5000利用405納米短波長激光二極管獲得橫向分辨率。
●激光共焦光學(xué)系統(tǒng)
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像。
●X-Y掃描儀
3D測量激光顯微鏡OLS5000配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
●高度測量原理
在測量高度時(shí)，顯微鏡通過自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）。
選擇3D測量激光顯微鏡OLS5000的價(jià)值
●顯微鏡OLS5000的先進(jìn)技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量，捕捉任意表面形狀，
輸出可靠數(shù)據(jù)。
3D測量激光顯微鏡OLS5000采用專用LEXT物鏡，達(dá)到一致的測量值。
3D測量激光顯微鏡OLS5000采用4K掃描技術(shù)，能捕捉陡峭斜面形狀。
3D測量激光顯微鏡OLS5000具有智能判別功能，可自動(dòng)獲取可靠數(shù)據(jù)。
●3D測量激光顯微鏡OLS5000的掃描算法可快速獲得可靠數(shù)據(jù)。即可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡化您的工作流程，以提高生產(chǎn)力。
3D測量激光顯微鏡OLS5000采用PEAK算法，能快速、準(zhǔn)確的測量。
3D測量激光顯微鏡OLS5000采用跳躍式掃描，簡化測量，提升下來。
●3D測量激光顯微鏡OLS5000具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果，即只需放置樣品并按一下按鈕即可。
3D測量激光顯微鏡OLS5000采用智能掃描II技術(shù)，具體操作如下;
步驟1：放置樣品，點(diǎn)擊“Start”，掃描完成。
步驟2：先選擇測量項(xiàng)目，然后指定測量區(qū)域，點(diǎn)擊報(bào)告按鈕，分析和報(bào)告即可完成。
步驟3：創(chuàng)建報(bào)告。即通過分析模板，減少重復(fù)測量的差異。
●低功率輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備（可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品）。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品(如下圖1)，而專用LEXT超長工作距離物鏡能夠測量深度大25毫米的凹坑(如下圖2)。在測量這兩類樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。
圖1
圖2
3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列配置
3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SAF
? 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
? 最大樣品高度:100毫米
3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EAF
? 100毫米電動(dòng)載物臺(tái)
? 最大樣品高度:210毫米
3D 測量激光顯微鏡OLS5000-SMF
? 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
? 最大樣品高度:30毫米
3D 測量激光顯微鏡OLS5000-EMF
? 100毫米手動(dòng)載物臺(tái)
? 最大樣品高度:140毫米
3D 測量激光顯微鏡OLS5000-L AF
? 3 0 0 毫米電動(dòng)載物臺(tái)
? 最大樣品高度：37毫米
3D 測量激光顯微鏡OLS5000系列技術(shù)規(guī)格
主機(jī)規(guī)格
型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
總倍率 | 54x - 17,280x | |||||
視場直徑 | 16 μm - 5,120 μm | |||||
測量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光 -DIC 顯微鏡 彩色 | ||||
光接收元件 | 激光 ：光電倍增管（2ch） 色彩 ：CMOS 彩色相機(jī) | |||||
高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | ||||
動(dòng)態(tài)范圍 | 16 位 | |||||
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | |||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | |||||
拼接圖像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | |||||
測量噪聲（SQ 噪聲）*1 *5 *6 | 1 納米 | |||||
寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | ||||
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | |||||
精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | |||||
拼接圖像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | |||||
單次測量時(shí)測量點(diǎn)的最大數(shù)量 | 4096 x 4096 像素 | |||||
測量點(diǎn)的最大數(shù)量 | 3600 萬像素 | |||||
XY 載物臺(tái)配置 | 長度測量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
工作范圍 | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | 300 x 300 mm | 100 x 100 mm | 100 x 100 mm | |
最大樣品高度 | 100 mm | 30 mm | 37 mm | 210 mm | 140 mm | |
激光光源 | 波長 | 405 nm | ||||
最大輸出 | 0.95 mW | |||||
激光分類 | 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
彩色光源 | 白光 LED | |||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 30 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 39 公斤 |
控制箱 | 約 12 公斤 | |||||
物鏡規(guī)格
| 系列 | 型號 | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離(WD) (毫米） |
UIS2 物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
LEXT 專用物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
LEXT 專用物鏡（高性能型） | MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 |
MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
LEXT 專用物鏡（長工作距離 型） | LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 |
LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 | |
LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
超長工作距離物鏡 | SLMPLN20x | 0.25 | 25 |
SLMPLN50x | 0.35 | 18 | |
SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
適用于 LCD 樣品的長工作距離 物鏡 | LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 7.4-8.3 |
LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.0-0.9 |
汽車 / 金屬加工
內(nèi)部紋理 / 面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接）
噴油嘴內(nèi)壁（復(fù)制品）/ 面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT）
活塞環(huán) / 面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
空氣過濾器（MPLAPON20XLEXT）
材料
不銹鋼腐蝕 / 深度測量（MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接）
銅板 / 面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
擴(kuò)散板 / 剖面測量（MPLAPON50XLEXT / 3x3 拼接）
海綿 / 剖面測量（MPLAPON20XLEXT / 3x3 拼接）
電子元件
金屬凸塊(Bump)/ 高度測量（MPLAPON20XLEXT）
MEMS 超聲波傳感器（MPLAPON50XLEXT）
光致抗蝕劑 / 高度測量（MPLAPON100XLEXT）
鍵合金線（MPLAPON100XLEXT）
其他
微針尖 / 剖面測量（MPLAPON50XLEXT / 6x6 拼接）
皮膚（復(fù)制品）/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT /5x5 拼接）
由文化學(xué)園大學(xué)服裝學(xué)院功能設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)室提供
研磨石 / 輪廓測量（MPLAPON20XLEXT）
圓珠筆滾珠基座/ 面粗糙度測量（LMPLFLN20XLEXT）
以上是3D測量激光顯微鏡OLS5000的簡單介紹，想了解更多詳情，可繼續(xù)瀏覽3D測量激光顯微鏡OLS5000功能特點(diǎn)，謝謝！
