LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX12R是一款全新的MX12RT半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。
仰角可調(diào)觀察筒
0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到優(yōu)質(zhì)的觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。
全新離合驅(qū)動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導(dǎo)軌傳動機(jī)構(gòu)，移動更輕更順暢，產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器
設(shè)有前進(jìn)、后退兩檔切換模式，可快速、精確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機(jī)械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。
按鍵觸手可及，助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設(shè)計(jì)不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加精確、靈活。
防震支架設(shè)計(jì)
機(jī)身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機(jī)架，具備強(qiáng)效的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。
豐富的應(yīng)用領(lǐng)域
MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡MX12R參數(shù)
型號 | MX12R |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/ 暗場/ 偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，0~35°傾角可調(diào)，正像， 瞳距調(diào)節(jié):50-76mm，分光比100:0 或0:100。 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡 5X、10X、20X、50X（選配：100X） |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相DIC 物鏡20X | |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡50X 100X | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶DIC 插槽 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架：前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
載物臺 | 右手位14×12 英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用） |
電動平臺：面積495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺 | |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器, 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌, 中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 微分干涉組件 |
選配 | 工業(yè)相機(jī)：1000萬、1500萬、2000萬，CCD或CMOS相機(jī) |
分析軟件：自開發(fā)專業(yè)測量系統(tǒng) |
LCD導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡拍照效果圖：
