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測(cè)量顯微鏡STM7

明場(chǎng)圖像	暗場(chǎng)圖像	微分干涉圖像	偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

STM7-LFFEM 分析

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保有效地降低誤差。

作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測(cè)量

主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和準(zhǔn)確化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也比較重要。奧林巴斯成功開發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

測(cè)量顯微鏡溯源系統(tǒng)

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的準(zhǔn)確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

STM7在設(shè)計(jì)上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺(tái)

常見問題

短測(cè)量行程無法滿足較大樣品的測(cè)量需求。

目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。

由于可測(cè)量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。

STM7解決方案

共有四種獨(dú)特的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm,200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。

采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。

300mm長的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50 50mm x 50mm	STM7-CS100 100mm x 100mm	STM7-CS200 200 mm x 200 mm	STM7-CS300 300 mm x 300 mm

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察

常見問題

大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以專用測(cè)量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時(shí)滿足多種觀察要求。

STM7解決方案

STM7可以通過安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶選擇合適的觀察方法。

測(cè)量物鏡

由于測(cè)量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡

明場(chǎng)圖像                                                    暗場(chǎng)圖像

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。

手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列

聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量內(nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了優(yōu)異的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。

電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型

使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性

常見問題

其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元，因而顯著降低測(cè)量效率。

眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機(jī)的周圍，占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對(duì)于STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：                          用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型：
STM7-HS手動(dòng)操作裝置                            STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以大程度地減少占用工作空間。大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器

常見問題

傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無法保持一致，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)生變化。使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

STM7的光強(qiáng)可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀察和測(cè)量。

物鏡切換時(shí)，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)

光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

5x物鏡光強(qiáng) 50	20x物鏡光強(qiáng) 70	100x物鏡光強(qiáng) 120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。

常見問題

需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器

計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的zui小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在恰當(dāng)位置。當(dāng)用戶站著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上

自動(dòng)聚焦系統(tǒng)具有優(yōu)異的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更準(zhǔn)確的高度測(cè)量

常見問題

進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。

STM7解決方案

具有優(yōu)越的重復(fù)性、簡單且高度準(zhǔn)確的聚焦系統(tǒng)。通過將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)完全合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。

目視高度測(cè)量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

焦點(diǎn)下方	焦點(diǎn)位置	焦點(diǎn)上方

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量

常見問題

進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。

手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái)，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。

很難對(duì)微小的物體聚焦，比如引線。

STM7解決方案

專用自動(dòng)對(duì)焦單元：杰出的再現(xiàn)性和聚焦速度

無論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7專用自動(dòng)對(duì)焦單元均可以在較短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度準(zhǔn)確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦，而小直徑的激光，也能保證對(duì)微小物體，比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。

單次對(duì)焦模式

執(zhí)行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦，即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下，也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察，從而大大地提高了Z軸的測(cè)量效率。

實(shí)現(xiàn)觀察與測(cè)量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇。

MM6-EMO/正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒。可與MM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。

STM7-FS/腳踏開關(guān)

實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。

SZ-LW61/白光LED照明單元

具有小型，輕便，使用壽命長，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性價(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動(dòng)控制單元

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2- ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇照明。

旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。

STM7-RS100 用于STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺(tái)

STM7-RS200 用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺(tái)

STM7-RS300 用于STM7-CS300 300 mm×300 mm載物臺(tái)

專為更先進(jìn)測(cè)量而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)

測(cè)量支持系統(tǒng)

對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。推動(dòng)以更高精度實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的測(cè)量正是開發(fā)全新奧林巴斯測(cè)量軟件的原因所在。該軟件亦可與數(shù)碼相機(jī)結(jié)合使用。

測(cè)量顯微鏡STM7標(biāo)準(zhǔn)配置參數(shù)