◆電動Z軸移動機(jī)構(gòu)通過使用專用的控制器簡化了的垂直移動操作。
◆新款測量顯微鏡可配備一個(gè)新型輔助對焦機(jī)構(gòu)，以提供更清晰和更的對焦。相比以前型號，高精度Z軸測量更簡便。
◆得益于各種電動控制以及人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，極大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的載物臺，操作起來也十分得心應(yīng)手。
◆X、Y和Z軸的較小單位可以在 0.1 μm和0.5μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
◆使用數(shù)碼相機(jī)和 M- Inspect 測量軟件進(jìn)行數(shù)字圖像拍攝可通過的自動邊緣檢測進(jìn)行速測量。
●操作便捷
集中化顯微鏡操作，調(diào)焦手輪、速度控制、遙控開關(guān)均可實(shí)現(xiàn)單手盲操作，實(shí)現(xiàn)大試樣高精度快速測量。
●電動Z軸調(diào)焦
使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。
●穩(wěn)固的機(jī)械機(jī)構(gòu)
充分考慮工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)置減震機(jī)構(gòu)，保證了高水平的重復(fù)性精度。
●高度靈活
模塊化的硬件、功能強(qiáng)大的軟件方案，自由搭配成像光路、載物臺、FA聚焦導(dǎo)航、旋轉(zhuǎn)工作臺、晶圓轉(zhuǎn)盤等。
●高密度拼接
使用高密度拼接功能、多幅圖像可以拼接擴(kuò)展為一幅大視野全景圖像
電動測量顯微鏡HTM系列配置參數(shù)
型號 | HTM150D | HTM200D | HTM300D | HTM400D | |
圖像 | 正像/反像 | ||||
觀察方法 | 明場、暗場、偏光、微分干涉觀察 | ||||
目鏡 | 屈光度可調(diào)10X（視場數(shù)：22mm) | ||||
物鏡 | 平場消色差/平場半復(fù)消色差系列鏡頭 | ||||
調(diào)焦系統(tǒng) | 最大被測物高度 | 200mm | |||
電動調(diào)焦參數(shù) | 微調(diào)：50μm、100μm、400μm/圈可選 點(diǎn)動：100μm /步 粗調(diào)：10mm/秒 | ||||
調(diào)焦精度 | 最小步距 | 0.1μm | |||
測量重復(fù)性 | ±1μm | ||||
照明裝置 | 透射照明 | 遠(yuǎn)心照明、無級亮度可調(diào)、5W LED光源 | |||
反射照明 | 科勒照明、可調(diào)孔徑光闌、無級亮度可調(diào)、5W LED光源 | ||||
輔助照明 | FA輔助聚焦、LED環(huán)型光源、光纖冷光源 | ||||
載物臺 | 測量范圍 | 200*150mm | 300*200mm | 300*300mm | 400*300mm |
金屬臺尺寸 | 400*280mm | 500*350mm | 500*450mm | 600*450mm | |
玻璃尺寸 | 245*192mm | 350*250mm | 350*350mm | 450*350mm | |
快速釋放裝置 | 標(biāo)準(zhǔn)配置 | ||||
遙控開關(guān) | RESET（復(fù)位）與SEND（發(fā)送）按鈕位于X手輪附近 | ||||
數(shù)字計(jì)數(shù)器 | 最小讀數(shù) | 可在0.5/0.1μm選擇 | |||
功能 | 調(diào)零、分中、方向轉(zhuǎn)換、公英制轉(zhuǎn)換、RS232輸出 | ||||
測量精度 | （3+0.02L）μmL為測量長度 | ||||
功耗 | 230W、85～240VAC 50/60HZ | ||||
主機(jī) | 外型尺寸 | 659*660*744mm | 659*710*744mm | 659*660*744mm | 659*710*744mm |
重量 | 80KG | 110KG | 160KG | 175KG | |
