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晶圓檢查系統(tǒng)顯微鏡
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)
8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:AL120-L8/AL120-L86/AL120-L6
發(fā)布時間:2020-12-3 10:51:25
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晶圓檢查系統(tǒng)顯微鏡-8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)介紹

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓,也可以安全有效搬送薄片晶圓,非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特點

●適應(yīng)范圍廣、搭配靈活,8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)具有高度實用性和高度可靠性。

●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)傳輸各種尺寸的硅片

基于硅片的尺寸,AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)有3種基本機型,單200mm(AL120-L8)、150mm和200mm兼容(AL120-L86)、單150mm或以下尺寸(AL120-L6)。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。


●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以傳輸超薄的硅片,即薄至90um

為了應(yīng)對更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片,奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特殊設(shè)計了傳輸手臂,可以應(yīng)對25片裝的200mm的片盒以及薄至90um的硅片,并完成安全傳輸和顯微鏡檢查??赏ㄟ^面板預(yù)設(shè)多達(dá)10種不同厚度的硅片信息。

●精密的能力,增強宏觀檢查的功能

新款的具備宏觀檢查功能的機臺(LMB型)具有360度自動旋轉(zhuǎn)而完成硅片的每面宏觀檢查。這一設(shè)計可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外,可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查。

●LCD顯示屏提供精度和操作方便性

LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受,使得奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)檢查項目和次序一清二楚,以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然。檢查結(jié)果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號一并可以顯示在LCD顯示屏上,方便操作者的回顧。

●精密的可靠性

對于硅片的安全性,AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)采用新的兩種硅片檢測方式:硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺的安全性。

●強大和可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式:明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外,都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動物鏡轉(zhuǎn)盤,與顯微鏡主機的孔徑光瀾具有聯(lián)動功能,每一次物鏡的切換,孔徑光瀾也會自動變換。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)設(shè)計不單只重視傳輸中的硅片的安全,也保證操作者的安全,完全符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn),同時也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格

型號

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

晶圓尺寸

300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm

卡盒數(shù)

單盒(裝載、卸載兼用)

卡盒設(shè)置高度

900 mm

裝載端口

搬運順序

表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查

檢查模式

全部檢查、抽樣檢查

晶圓校準(zhǔn)

非接觸式中心環(huán)

晶圓搬運方式

真空吸附機械搬運

適用顯微鏡

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L

應(yīng)用環(huán)境

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz ,真空-67~-80 Kpa

載物臺

XY手動吸附載物臺,有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu)

重量(不包括顯微鏡)

約360 kg

約270 kg

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