產(chǎn)品型號(hào):AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F
發(fā)布時(shí)間:2020-12-2 11:10:25
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AL120-12奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,常用于低成本的后期檢查。12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì),確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)主要特性:
●堅(jiān)固、可靠和安全傳送
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓,且薄片,Warped晶圓也能安全搬送。
●人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)宏觀觀察位置的最優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作性。
自動(dòng)300 mm晶圓檢查系統(tǒng) AL120-12 技術(shù)規(guī)格
型號(hào) | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm | |
卡盒數(shù) | 單盒(裝載、卸載兼用) | |
卡盒設(shè)置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無(wú) |
搬運(yùn)順序 | 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準(zhǔn) | 非接觸式中心環(huán) | |
晶圓搬運(yùn)方式 | 真空吸附機(jī)械搬運(yùn) | |
適用顯微鏡 | 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L | |
應(yīng)用環(huán)境 | AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz ,真空-67~-80 Kpa | |
載物臺(tái) | XY手動(dòng)吸附載物臺(tái),有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) | |
重量(不包括顯微鏡) | 約360 kg | 約270 kg |